TEM INVESTIGATION OF THIN OXIDES IN MOS STRUCTURES.

P. Pongratz, H. Oppolzer, D. Schmitt-Landsiedel, K. Hofmann, G. Dorda, P. Skalicky

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/KonferenzbandKonferenzbeitragBegutachtung

6 Zitate (Scopus)
OriginalspracheEnglisch
TitelInstitute of Physics Conference Series
Herausgeber (Verlag)Inst of Physics
Seiten491-494
Seitenumfang4
Auflage67
ISBN (Print)0854981586
PublikationsstatusVeröffentlicht - 1983

Publikationsreihe

NameInstitute of Physics Conference Series
Nummer67
ISSN (Print)0373-0751

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