Originalsprache | Deutsch |
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Seiten (von - bis) | 309-315 |
Seitenumfang | 7 |
Fachzeitschrift | VDI Berichte |
Ausgabenummer | 1530 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2000 |
Planarer Vakuumsensor
G. Bedö, B. Bayha, D. Schmitt-Landsiedel
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung
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Zitate
(Scopus)