Planarer Vakuumsensor

G. Bedö, B. Bayha, D. Schmitt-Landsiedel

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelBegutachtung

3 Zitate (Scopus)
OriginalspracheDeutsch
Seiten (von - bis)309-315
Seitenumfang7
FachzeitschriftVDI Berichte
Ausgabenummer1530
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2000

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