Patterning Platinum by Selective Wet Etching of Sacrificial Pt-A1 Alloy

S. Meier, H. Rinck, B. Lange, E. Muellner, R. Brederlow, M. Enzelberger-Heim, S. Summerfelt, F. Kreupl, B. Wolf

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/KonferenzbandKonferenzbeitragBegutachtung

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Fingerprint

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