In-situ observation of Co-Ce coated metallic interconnect oxidation combined with high-resolution post exposure analysis

Stéphane Poitel, Zhu Jun Wang, Marc Georg Willinger, Jan Van Herle, Cécile Hébert

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Konferenzband › Konferenzbeitrag › Begutachtung

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Fingerprint

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