Finish-pass strategy to improve sidewall angle and processing time in FIB milled structures

Markus Joakim Lid, Abdulla Bin Afif, Jan Torgersen, Fritz B. Prinz

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftKonferenzartikelBegutachtung

Fingerprint

Untersuchen Sie die Forschungsthemen von „Finish-pass strategy to improve sidewall angle and processing time in FIB milled structures“. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.

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Engineering

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