Entwicklung eines bionisch inspirierten, mikromechanischen Biegewandlers für effizienten fluidischen Massentransport

R. Behlert, M. Gehring, H. Mehner, R. Wieland, G. Schrag

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/KonferenzbandKonferenzbeitragBegutachtung

Abstract

A novel, integrated micromechanical actuator based on the principle of undulatory fish locomotion and intended for efficient on-chip cooling or venting applications is conceived and designed for an aluminum nitride-based thin-film technology. The results of piezoelectric-mechanical simulations prove that an undulatory motion of the fin-like micro-flapper can be generated. Subsequent fluidic investigations show, that this motion pattern yields a significant higher, directed fluidic net flow compared to resonant-like motion. First prototypes have been manufactured and characterized applying laser Doppler vibrometry and white light interferometry.

Titel in ÜbersetzungDesign of a bionically inspired micro-mechanical bending actuator for efficient fluidic mass transport
OriginalspracheDeutsch
TitelMikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings
Herausgeber (Verlag)VDE VERLAG GMBH
Seiten207-210
Seitenumfang4
ISBN (elektronisch)9783800744916
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2017
VeranstaltungMikroSystemTechnik Kongress 2017: MEMS, Mikroelektronik, Systeme - MikroSystemTechnik Conference 2017: MEMS, Microelectronics, Systems - Munchen, Deutschland
Dauer: 23 Okt. 201725 Okt. 2017

Publikationsreihe

NameMikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Konferenz

KonferenzMikroSystemTechnik Kongress 2017: MEMS, Mikroelektronik, Systeme - MikroSystemTechnik Conference 2017: MEMS, Microelectronics, Systems
Land/GebietDeutschland
OrtMunchen
Zeitraum23/10/1725/10/17

Fingerprint

Untersuchen Sie die Forschungsthemen von „Entwicklung eines bionisch inspirierten, mikromechanischen Biegewandlers für effizienten fluidischen Massentransport“. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.

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