Fingerprint
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Carboxylic acids as oxygen supplying agents for atomic layer deposition of high-K thin films
E. Rauwel, F. Ducroquet, P. Rauwel, M. G. Willinger, I. Matko, D. Kiselev, N. Pinna
Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Konferenzband › Konferenzbeitrag › Begutachtung